《科学》 第393卷 第6812期 · 2026年8月13日 · 中文解读
促进剂驱动的再结晶实现高织构钌薄膜
Promoter-driven recrystallization affording highly textured ruthenium films · Unknown
这篇讲什么
本文报道了通过微量碳作为瞬态促进剂，在非晶介电基底上实现钌多晶薄膜近完全面外取向和低能晶界的方法。
原文开头
thiN Metal FilMs Promoter- driven recrystallization affording highly textured ruthenium Youngchul Leem1*†, Yoonhoo Ha1†, Young-Min Lee1†, Yong- Ryun Jo2†, Jeong Yub Lee1, Eun- Hyoung Cho1, Byeong- Gyu Chae3, Jaewoo Lee3, Gi- Young Jo1, Seong Yong Park3, Kyung- Eun Byun1, Jeehwan Kim4,5, Sang Won Kim1 the electrical properties of polycrystalline materials are governed by crystallite characteristics and spatial arrangement. We grew ruthenium polycrystals with a near- complete out- of- plane preferred orientation and predominantly low- energy grain boundaries on amorphous dielectric substrates, without relying on epitaxial growth or lattice- matched conditions. …
摘自《科学》（Science）第393卷 第6812期 · 2026年8月13日，Unknown。仅引用开头一小段供了解文章，版权归原刊所有，全文请阅读原刊。
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